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洁净室实现洁净度要求的通风措施

洁净室要达到洁净等级,有综合措施,其中包括工艺布置、建筑平面、建筑构造、建筑装修、人员和物料净化、空气洁净措施、维护管理等。其中空气洁净措施是实现洁净等级的根本。就空气洁净而言,主要有以下几项具体措施:
       (1) 对洁净室的送风是有很高洁净度的空气。因此,选用或亚过滤器(洁净级别低时)作为终端过滤器,对进入洁净室的空气,进行后一级过滤。为保护终端过滤器和延长其寿命,使空气先经中效过滤器进行过滤。
      (2) 根据洁净室的等级,合理选择洁净室的气流分布流型,在工作区应避免涡流区;尽量使送入房间的洁净度高的空气直接到达工作区;气流的流动有利于洁净室内的微粒从回风口排走。
      (3) 有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又有稳定的气流流型。

      (4)不同等级的洁净室、洁净室与非洁净室或洁净室与室外之间均应保持的正压值。